富士ハイテック株式会社

• 

  フッ素系パーティクル除去洗浄装置

  フッ素系真空超音波洗浄機
  「SAUBER」(ザウバー)

• 

• パーティクル除去性能に特化した精密洗浄と溶剤の低消耗を実現した１槽式真空蜜閉型洗浄機です。
  精密洗浄に有効な多くの機能を搭載しながら、
  クリーンルームでの洗浄を想定した極めてコンパクトなフッ素系超音波洗浄機です。
  省スペース化を図ったパッケージングにより設置場所を選びません。
  DAISAVE/ダイセーブ SS-54（ダイキン工業）で洗浄テスト可能。

パーティクル洗浄に特化したザウバーの特長

フッ素溶剤は一般的に液単価が高く、ランニングコストを下げるために密閉性を高めた真空超音波洗浄装置が採用されるようになりました。
しかし、脱脂洗浄の延長線上にある真空系洗浄機が多く、超音波洗浄が出来ても、オーバーフロー・フィルター循環・揺動などのパーティクル・異物除去に必要な機能が構造的または技術的な問題により搭載されていません。
当然、洗浄槽内でのパーティクルの再付着や、ワークの清浄度にも限界があります。

パーティクル洗浄に特化したフッ素系真空超音波洗浄機「SAUVER」（ザウバー）の精密洗浄システムは、洗浄効果の高い真空超音波洗浄に加え、この問題を解決するパーティクル除去に有効な３つの機能があります。

フッ素系真空超音波洗浄機「SAUVER」（ザウバー）の精密洗浄は、洗浄効果の高い真空超音波洗浄に加えて、パーティクル除去に有効な３つの機能「揺動」「オーバーフロー」「フィルター循環」を真空洗浄中に同時に行えます。
フッ素系溶剤を使用したパーティクル除去を目的とする精密洗浄に不可欠な機能を標準装備しました。

• 
  

• ① 4面オーバーフロー

  ４面オーバーフロー構造により、洗浄中にワークから発生したパーティクル・異物を速やかに槽外へ排出します。オーバーフローには、洗浄槽のパーティクル濃度を一定に保ち、パーティクルや異物がワークへ再付着することを抑える効果があります。

  ② フィルター循環

  オーバーフローでパーティクルと一緒に排出された洗浄液をフィルターを通して洗浄槽に戻す機能です。洗浄時間中は常にフィルター循環を継続できます。高精度のフィルターでろ過された洗浄液は洗浄槽内のパーティクル濃度を一定に保ち、１次洗浄・２次洗浄の超音波洗浄レベルを向上させます。

  ③ バスケットの上下揺動

  真空超音波洗浄中にバスケットを上下に揺動させます。超音波洗浄では洗浄ムラを軽減させる効果があります。また、攪拌効果によりワークから発生したパーティクル・異物を素早く剥離させて再付着を防ぎます。独自の揺動機構により、揺動駆動部からの発塵で洗浄槽を汚染することもありません。

真空超音波洗浄について

揮発性の高い溶剤を減圧下で処理できる真空超音波洗浄はフッ素系溶剤と親和性の高い洗浄技術です。

真空超音波洗浄は、超音波洗浄に真空・減圧を加えることで「ワークの細部に溶剤を浸透させる」「強力な超音波で洗浄する」２つの相乗効果により飛躍的に洗浄力向上させる洗浄方式です。

• 槽内を減圧してワーク細部の隙間に残る空気溜まりを抜き取り、溶剤の浸透性を高めます。
• 減圧下で得られる溶剤の脱気効果で超音波が強力になります。

>> 詳しくはこちら

• 
• 真空超音波洗浄について

溶剤の消耗を抑える減圧システム

• 
• 貯液タンク・蒸留槽・蒸気発生槽などの貯液タンクを全て減圧下にコントロールするシステムです。
  
  タンク内と外気を遮断することで低消耗を実現しました。
  
  フッ素系真空超音波洗浄機「SAUBER」(ザウバー)は、溶剤のリサイクル率を高め、ランニングコストも抑える装置となっています。

• ザウバーの洗浄工程

  1槽の中で真空洗浄～真空乾燥まで行います。

  工程

  装置機能

  工程詳細

  洗浄開始

   

  • 空の状態の洗浄槽にワークをセット。
  • 蓋を閉めて、スタートボタンを押す。

  減圧給液

  空の洗浄槽を真空ポンプで真空引き フィルターろ過された溶剤を給液

  • 真空引きにより洗浄槽を真空状態にする。
  • 真空状態の洗浄槽へ1次貯タンクから溶剤をフィルターを通して給液。

  1次洗浄

  真空超音波オーバーフロー上下揺動フィルター循環

  • 真空超音波と上下揺動により、効率的にワークから汚れを除去。
  • 洗浄槽内に拡散したパーティクルは4面オーバーフローにより洗浄槽から貯液タンクへ効率よく排出。
  • 排出された洗浄液をフィルターろ過後に洗浄槽へ戻す。

  排液給液

  洗浄槽から1次貯液タンクに排液フィルターろ過された溶剤を給液

  • 洗浄終了後に、1次貯液タンクへ溶剤を排液。
  • 排液終了後に2次貯液タンクから溶剤をフィルターを通して給液。

  2次洗浄

  真空超音波 オーバーフロー上下揺動フィルター循環

  • 真空超音波と上下揺動により、効率的にワークから汚れを除去。
  • 洗浄槽内に拡散したパーティクルは4面オーバーフローにより洗浄槽から貯液タンクへ効率よく排出。
  • 排出された洗浄液をフィルターろ過後に洗浄槽へ戻す。

  排液蒸気洗浄

  洗浄槽から2次貯液タンクに排液溶剤のベーパーでワークを加熱

  • 洗浄終了後に、2次貯液タンクへ溶剤を排液。
  • 排液終了後、蒸気発生器からベーパーを洗浄槽へ引き込み、加熱・洗浄を行う。
  • ベーパー用の溶剤は、2次貯液タンクからフィルターろ過した液を供給。

  真空乾燥

  完全乾燥溶剤回収

  • 蒸気により十分加熱されたワークを真空下で完全乾燥。
  • 乾燥工程で気化させた溶剤も装置内で回収。
  • 溶剤消耗を防ぐため、洗浄槽内に残る溶剤も乾燥。

  復圧取出し

   

  • 真空乾燥終了後に、洗浄槽の減圧状態を解除。
  • エアフィルターを通した空気で洗浄槽を復圧し、洗浄工程終了。
  • 蓋を開けて、ワークを取出して洗浄終了。

• コンパクトな省スペース設計

  クリーンルーム対応のコンパクト設計。
  装置高さは1500mmの低さで設置場所を選びません。

  

• 製品概要

  型式

  FV-500B4/FP

  装置寸法

  1900W×1450D×1500H

  作業高さ

  1000H

  超音波周波数

  40,80,120,170kHz(選択可能）

  バスケット寸法

  350W×220D×200H（揺動無しの場合）
  330W×200D×200H（揺動有りの場合）

  必要設備

  [電気]φ3 AC200V 50A
  [冷却水]15L/min以上(15℃以下)
  [エアー]0.5Mpa 以上
  [排気]要吸引 2m3/min 以上

  洗浄用途

  精密電子デバイス、MEMSデバイス、イメージセンサー、水晶関連部品、ポリゴンミラー、ステッパー関連部品、HDD関連部品、その他

  洗浄装置に
  使用できる洗浄液

  DAISAVE　SS-54（ダイキン工業株式会社）
  AE-3000（AGC株式会社）
  他フッ素系溶剤は別途ご相談ください。