フッ素系除塵精密洗浄装置　「SAUBER」(ザウバー)

• 減圧での密閉状態を維持し、洗浄から乾燥まで行う独自のシステムにより、使用する洗浄剤の消耗を極力少なくした、パーティクル除去に特化した洗浄装置です。
• 洗浄槽は電解研磨処理をした4面オーバーフロー形状となっており、真空洗浄中は常にオーバフローでのフィルタリングをおこなっていますので、パーティクル除去に非常に適した洗浄装置です。
• 揺動機構付きのため、パーティクル除去洗浄に優れた洗浄装置です。
• 超音波4周波(40・80・120・170kHz)。
• 有機性の汚れが混入しても内蔵の蒸留槽により常に蒸留再生していますので、常にクリーンな洗浄ができる洗浄装置です。
• 洗浄装置に使用できる洗浄液は、「AE-3000」「AE-3100E」(旭硝子株式会社)、「NOVEC7100」「NOVEC7200」(スリーエムジャパン株式会社)です。
• 脱脂目的用の装置も製作可能です。
  (洗浄液:臭素系・塩素系等)
• 
  

型式	FV-500B4/FP
装置寸法	1900W×1450D×1500H
作業高さ	960H
バスケット 寸法	350W×220D×200H
必要設備	[電気]φ3 AC200V 50A [冷却水]15L/min以上(15℃以下) [エアー]0.5Mpa 以上 [排気]要吸引 2m3/min 以上

洗浄用途	精密電子デバイス MEMSデバイス イメージセンサー 水晶関連部品 ポリゴンミラー ステッパー関連部品 HDD関連部品、その他
洗浄装置に 使用できる 洗浄液	「AE-3000」「AE-3100E」 (旭硝子株式会社) 「NOVEC7100」「NOVEC7200」 (スリーエムジャパン株式会社)